不同脉冲电镀电源的特性整体脉冲电派系统把开关电路和直流整流器组合在一个系统中即构成听谓整体脉冲电m。这种脉冲电源的优点是能很好地控制输出电流的om度和纹波,而且,电源整流部分的设计与脉冲开关电路的设计是互相配合互相适应的。
    。转换舒系统转换器脉冲电源系统由方波转换器连接到直流整流器上构成。直流整流器必须要有足够高的输出电压来产生脉冲电镀所需要的高峰值电流。此外,直流整流器愉出的最大电流值必须在转换器所能承受的额定峰值电流范围之内。利用脉冲转换器和直流整流器构成的脉冲电源其电流和电压的调节在整流器上进行。此种方式构成的脉冲电源只要在整流器上加一个转换器就行,这是一个优点。但是直流整流器输出的纹波电流都要通过镀格又是其不足。特别是可控硅整流器连用转换开关控制时常常不能很好的操作,因为在低电压和低电流输出时,可控硅整流器工作在很低的相南,而且交流纹波成分很高,因而此种方式用得不普追。
    修饰正弦波脉冲电派修饰正弦波脉冲电源通常采用电源线作为时墓。在正弦波振幅开始以后接通一个可调时间周期的半导休开关来调节愉出脉冲。这样便产生一个比较快的脉冲上升时间,当关断或下降时间时便产生正弦波的缓慢衰减(图13-1(幻、(b) )。
    。单向脉冲电薄与双向脉冲电派以前所讨论的脉冲电抓都是单向的,也就是它的愉出电流是单向性的。现已有设计成能图13-3多级愉出脉冲电源示意图于研究方面。
    提供翰出交替变化脉冲电流方向的脉冲电源,这种电源被称为双向或反向脉冲电源。
    应用反向脉冲电源提供一个时!’17很短的反向脉冲电流以改善金属的沉积层。例如金属的分布、电铰速度和金相性质等。
    单向脉冲电源也可以产生复杂的波形,如图和((i)所示。这些复杂的波形电流主要应用。多级输出脉冲电源系统由于电子工业的发展不断减小集成电路的尺寸和提高集成电路的复杂性,因此要求电镀的集成电路就变得更小,然而要求线宽、通孔电镀具有严格的允许公差,而且元件之间的厚度也要求控制。为此提出了一种多级输出脉冲电源如图13-3所示〔2)。它由一个普通的阳极和多个分阶而电流可控的阴极构成。
    高纽与低颇的比较一般高频定义为频率大于5000Hz,低频定义为500Hz,中频则在500Hzi1J5000Hz之其对应的重复周期为2.0毫秒到0.2毫秒之间。许多方波脉冲电源属于中频脉冲类型。而修饰正弦波脉冲电源则属于低频脉冲类型,因为它是依赖于电源线所产生的频率。
    近期脉冲电镀电源的研究者已经开始研究频率超过5000H:的脉冲电源。这就促进了具有较快的上升时间和下降时间及频率大于10000H:的设备的发展。这种设备的重复周期比微秒还要少。使用这样的设备时在高频脉冲电源和渡楷之间电缆的设计和安装要求是非常严格的,这将在本章后面讨论。